Silan (SiH4)

Tekniske parametre

Silan er en forbindelse af silicium og hydrogen. Det er en generel betegnelse for en række forbindelser, herunder monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) og nogle silicium-hydrogenforbindelser på højere niveau. Blandt dem er monosilan den mest almindelige, undertiden omtalt som silan. Silan er en farveløs gas med en ulækker lugt af hvidløg. Opløselig i vand, næsten uopløselig i ethanol, ether, benzen, chloroform, siliciumchloroform og siliciumtetrachlorid. Silaners kemiske egenskaber er meget mere aktive end alkaners og oxideres let. Spontan forbrænding kan forekomme ved kontakt med luft. Det reagerer ikke med nitrogen under 25°C og reagerer ikke med kulbrinteforbindelser ved stuetemperatur. Brand og eksplosion af silan er resultatet af reaktion med ilt. Silan er ekstremt følsom over for ilt og luft. Silan med en vis koncentration vil også reagere eksplosivt med ilt ved en temperatur på -180°C. Silan er blevet den vigtigste specialgas, der anvendes i halvledermikroelektronikprocesser, og anvendes i fremstillingen af ​​forskellige mikroelektroniske film, herunder enkeltkrystalfilm, mikrokrystallinsk, polykrystallinsk, siliciumoxid, siliciumnitrid og metalsilicider. De mikroelektroniske anvendelser af silan er stadig under udvikling: lavtemperaturepitaksi, selektiv epitaksi og heteroepitaxial epitaksi. Ikke kun til siliciumkomponenter og integrerede siliciumkredsløb, men også til sammensatte halvlederkomponenter (galliumarsenid, siliciumcarbid osv.). Det har også anvendelser i fremstillingen af ​​supergitterkvantebrøndmaterialer. Det kan siges, at silan anvendes i næsten alle avancerede integrerede kredsløbsproduktionslinjer i moderne tid. Anvendelsen af ​​silan som en siliciumholdig film og belægning har udvidet sig fra den traditionelle mikroelektronikindustri til forskellige områder såsom stål, maskiner, kemikalier og optik. En anden potentiel anvendelse af silan er fremstilling af højtydende keramiske motordele, især brugen af ​​silan til fremstilling af silicid (Si3N4, SiC osv.) mikropulverteknologi har tiltrukket sig mere og mere opmærksomhed.

Anvendelse:

①Elektronisk:

Silan påføres polykrystallinske siliciumlag på siliciumwafere ved fremstilling af halvledere og tætningsmidler.

②Solenergi:

Silan bruges i fremstilling af solcellemoduler.

③Industriel:

Det bruges i energibesparende grønt glas og til tyndfilmsprocesser med dampaflejring.

Normal pakke:

Fordel:

①Mere end ti år på markedet;

②ISO-certifikatproducent;

③Hurtig levering;

④Stabil råmaterialekilde;

⑤Online analysesystem til kvalitetskontrol i hvert trin;

⑥Høje krav og omhyggelig proces til håndtering af cylinder før påfyldning;

⑦Renhed: elektronisk kvalitet af høj renhed;

⑧Anvendelse: solcellematerialer; fremstilling af polysilicium med høj renhed, siliciumoxid og optisk fiber; fremstilling af farvet glas.