Hvad erkulstoftetrafluorid?Hvad er brugen?
Kulstoftetrafluorid, også kendt som tetrafluormethan, betragtes som en uorganisk forbindelse.Det bruges i plasmaætsningsprocessen i forskellige integrerede kredsløb og bruges også som lasergas og kølemiddel.Det er relativt stabilt under normal temperatur og tryk, men det er nødvendigt at undgå kontakt med stærke oxidanter, brandbare eller brændbare materialer.Kulstoftetrafluorid er en ikke-brændbar gas.Støder den på høj varme, vil det få beholderens indre tryk til at stige, og der er fare for revner og eksplosion.Normalt kan det kun interagere med flydende ammoniak-natriummetalreagens ved stuetemperatur.
Kulstoftetrafluorider i øjeblikket den største plasmaætsningsgas, der anvendes i mikroelektronikindustrien.Det kan bruges i vid udstrækning til ætsning af silicium, siliciumdioxid, phosphosilikatglas og andre tyndfilmsmaterialer, rengøring af overfladen af elektroniske enheder, solcelleproduktion, laserteknologi, gasfaseisolering, lavtemperaturkøling, lækagedetektionsmidler, og rengøringsmidler i produktionen af trykte kredsløb har en lang række anvendelser.
Indlægstid: 01-november 2021
