Hvad er kulstoftetrafluorid? Hvad er brugen?

Hvad erkulstoftetrafluoridHvad er brugen?

Kulstoftetrafluorid, også kendt som tetrafluormethan, betragtes som en uorganisk forbindelse. Den bruges i plasmaætsningsprocessen for forskellige integrerede kredsløb og bruges også som lasergas og kølemiddel. Den er relativt stabil under normal temperatur og tryk, men det er nødvendigt at undgå kontakt med stærke oxidanter, brandfarlige eller brændbare materialer. Kulstoftetrafluorid er en ikke-brændbar gas. Hvis den udsættes for høj varme, vil det forårsage, at beholderens indre tryk stiger, og der er fare for revner og eksplosion. Normalt kan den kun interagere med flydende ammoniak-natriummetalreagens ved stuetemperatur.

Kulstoftetrafluorider i øjeblikket den største plasmaætsningsgas, der anvendes i mikroelektronikindustrien. Den kan anvendes i vid udstrækning til ætsning af silicium, siliciumdioxid, fosfosilikatglas og andre tyndfilmsmaterialer, rengøring af overfladen på elektroniske enheder, solcelleproduktion, laserteknologi, gasfaseisolering, lavtemperaturkøling, lækagedetekteringsmidler og rengøringsmidler i produktion af trykte kredsløb har et stort antal anvendelser.


Opslagstidspunkt: 1. november 2021