Hvad erCarbon tetrafluorid? Hvad er brugen?
Carbon tetrafluorid, også kendt som tetrafluormethan, betragtes som en uorganisk forbindelse. Det bruges i plasma -ætsningsprocessen for forskellige integrerede kredsløb og bruges også som lasergas og kølemiddel. Det er relativt stabilt under normal temperatur og tryk, men det er nødvendigt at undgå kontakt med stærke oxidanter, brandfarlige eller brændbare materialer. Carbon tetrafluorid er en ikke-brændbar gas. Hvis det støder på høj varme, vil det medføre, at beholderens indre tryk øges, og der er fare for revner og eksplosion. Normalt kan det kun interagere med flydende ammoniak-natriummetalreagens ved stuetemperatur.
Carbon tetrafluorider i øjeblikket den største plasma -ætsningsgas, der bruges i mikroelektronikindustrien. Det kan bruges i vid udstrækning til ætsning af silicium, siliciumdioxid, phosphosilicatglas og andre tynde filmmaterialer, rengøring af overfladen af elektroniske anordninger, solcelleproduktion, laserteknologi, gasfaseisolering, lavtemperatur-køleskab, lækageforholdemidler og videregenter i trykt kredsløbsproduktion har et stort antal anvendelser.
Posttid: Nov-01-2021
