Elektroniskspecielle gasserer en vigtig gren af ​​specielle gasser. De trænger ind i næsten alle led i halvlederproduktion og er uundværlige råmaterialer til produktion af elektroniske industrier, såsom ultra-store integrerede kredsløb, fladskærme og solceller.

I halvlederteknologi er fluorholdige gasser meget brugt. I øjeblikket, på det globale marked for elektronisk gas, udgør fluorholdige elektroniske gasser omkring 30% af det samlede antal. Fluorholdige elektroniske gasser er en vigtig bestanddel af specielle elektroniske gasser inden for elektronisk informationsmateriale. De bruges hovedsageligt som rengøringsmidler og ætsemidler, og kan også bruges som dopingmidler, filmdannende materialer osv. I denne artikel vil forfatteren tage dig med til at forstå de almindelige fluorholdige gasser.

Følgende er almindeligt anvendte fluorholdige gasser

Nitrogentrifluorid (NF3): En gas, der bruges til at rense og fjerne aflejringer, som normalt bruges til at rense reaktionskamre og udstyrsoverflader.

Svovlhexafluorid (SF6): Et fluoreringsmiddel, der anvendes i oxidaflejringsprocesser og som en isoleringsgas til påfyldning af isoleringsmedier.

Hydrogenfluorid (HF): Bruges til at fjerne oxider fra siliciumoverfladen og som et ætsemiddel til ætsning af silicium og andre materialer.

Nitrogenfluorid (NF): Bruges til at ætse materialer som siliciumnitrid (SiN) og aluminiumnitrid (AlN).

Trifluormethan (CHF3) ogtetrafluormethan (CF4): Bruges til at ætse fluormaterialer såsom siliciumfluorid og aluminiumfluorid.

Imidlertid har fluorholdige gasser visse farer, herunder toksicitet, ætsning og brandbarhed.

Toksicitet

Nogle fluorholdige gasser er giftige, såsom hydrogenfluorid (HF), hvis dampe er stærkt irriterende for hud og luftveje og skadelige for menneskers sundhed.

Ætsende

Hydrogenfluorid og nogle fluorider er stærkt ætsende og kan forårsage alvorlig skade på hud, øjne og luftveje.

Antændelighed

Nogle fluorider er brandfarlige og reagerer med ilt eller vand i luften for at frigive intens varme og giftige gasser, som kan forårsage brand eller eksplosion.

Højtryksfare

Nogle fluorholdige gasser er eksplosive under højt tryk og kræver særlig pleje, når de bruges og opbevares.

Påvirkning af miljøet

Fluorholdige gasser har høje atmosfæriske levetider og GWP-værdier, som har en ødelæggende effekt på det atmosfæriske ozonlag og kan forårsage global opvarmning og miljøforurening.

Anvendelsen af ​​gasser i nye områder såsom elektronik fortsætter med at blive dybere, hvilket medfører en stor mængde ny efterspørgsel efter industrigasser. Baseret på den store mængde af ny produktionskapacitet af store elektroniske komponenter såsom halvledere og displaypaneler på det kinesiske fastland i de næste par år, samt den stærke efterspørgsel efter importsubstitution af elektroniske kemiske materialer, vil den indenlandske elektroniske gasindustri indlede en høj vækstrate.