Elektroniskspecialgasserer en vigtig gren af ​​specialgasser. De gennemtrænger næsten alle led i halvlederproduktionen og er uundværlige råmaterialer til produktion af elektronikindustrier såsom ultrastorskala integrerede kredsløb, fladskærme og solceller.

Inden for halvlederteknologi anvendes fluorholdige gasser i vid udstrækning. I øjeblikket tegner fluorholdige elektroniske gasser sig for omkring 30% af det samlede antal på det globale marked for elektronisk gas. Fluorholdige elektroniske gasser er en vigtig komponent i specielle elektroniske gasser inden for elektroniske informationsmaterialer. De anvendes hovedsageligt som rengøringsmidler og ætsningsmidler og kan også bruges som dopanter, filmdannende materialer osv. I denne artikel vil forfatteren give dig en forståelse af de almindelige fluorholdige gasser.

Følgende er almindeligt anvendte fluorholdige gasser

Nitrogentrifluorid (NF3): En gas, der anvendes til rengøring og fjernelse af aflejringer, normalt til rengøring af reaktionskamre og udstyrsoverflader.

Svovlhexafluorid (SF6)Et fluoreringsmiddel, der anvendes i oxidaflejringsprocesser og som en isolerende gas til fyldning af isoleringsmedier.

Hydrogenfluorid (HF): Bruges til at fjerne oxider fra siliciumoverfladen og som ætsningsmiddel til ætsning af silicium og andre materialer.

Nitrogenfluorid (NF): Bruges til at ætse materialer som siliciumnitrid (SiN) og aluminiumnitrid (AlN).

Trifluormethan (CHF3) ogtetrafluormethan (CF4)Bruges til at ætse fluoridmaterialer såsom siliciumfluorid og aluminiumfluorid.

Fluorholdige gasser har dog visse farer, herunder toksicitet, ætsning og brandfarlighed.

Toksicitet

Nogle fluorholdige gasser er giftige, såsom hydrogenfluorid (HF), hvis damp er stærkt irriterende for hud og luftveje og skadelig for menneskers sundhed.

Ætsende egenskaber

Hydrogenfluorid og nogle fluorider er stærkt ætsende og kan forårsage alvorlig skade på hud, øjne og luftveje.

Brandbarhed

Nogle fluorider er brandfarlige og reagerer med ilt eller vand i luften og frigiver intens varme og giftige gasser, som kan forårsage brand eller eksplosion.

Fare ved højt tryk

Nogle fluorholdige gasser er eksplosive under højt tryk og kræver særlig forsigtighed under brug og opbevaring.

Indvirkning på miljøet

Fluorholdige gasser har en lang atmosfærisk levetid og GWP-værdier, som har en destruktiv effekt på det atmosfæriske ozonlag og kan forårsage global opvarmning og miljøforurening.

Anvendelsen af ​​gasser i nye områder som elektronik fortsætter med at blive dybere, hvilket medfører en stor ny efterspørgsel efter industrigasser. Baseret på den store mængde ny produktionskapacitet af vigtige elektroniske komponenter såsom halvledere og displaypaneler i det kinesiske fastland i de næste par år, samt den stærke efterspørgsel efter importsubstitution af elektroniske kemiske materialer, vil den indenlandske elektroniske gasindustri indvarsle en høj vækstrate.