ElektroniskSærlige gasserer en vigtig gren af ​​specielle gasser. De trænger ind i næsten alle link til halvlederproduktion og er uundværlige råmaterialer til produktion af elektroniske industrier, såsom ultra-store-skala integrerede kredsløb, fladpaneldisplayenheder og solceller.

I halvlederteknologi anvendes fluorholdige gasser i vid udstrækning. I øjeblikket på det globale elektroniske gasmarked tegner fluorholdige elektroniske gasser ca. 30% af det samlede beløb. Fluorholdige elektroniske gasser er en vigtig komponent i specielle elektroniske gasser inden for elektronisk informationsmateriale. De bruges hovedsageligt som rengøringsmidler og ætsningsmidler og kan også bruges som dopingmidler, filmdannende materialer osv. I denne artikel vil forfatteren tage dig til at forstå de almindelige fluorholdige gasser.

Følgende er almindeligt anvendte fluorholdige gasser

Nitrogentrifluorid (NF3): En gas, der bruges til rengøring og fjernelse af aflejringer, der normalt bruges til rengøringsreaktionskamre og udstyrsoverflader.

Svovl hexafluorid (SF6): Et fluorineringsmiddel anvendt i oxidaflejringsprocesser og som en isolerende gas til fyldning af isolerende medier.

Hydrogenfluorid (HF): Bruges til at fjerne oxider fra siliciumoverfladen og som ætsning til ætsning af silicium og andre materialer.

Nitrogenfluorid (NF): Bruges til ætsning af materialer såsom siliciumnitrid (SIN) og aluminiumnitrid (ALN).

Trifluormethan (CHF3) ogtetrafluormethan (CF4): Bruges til ætsning af fluoridmaterialer såsom siliciumfluorid og aluminiumfluorid.

Imidlertid har fluorholdige gasser visse farer, herunder toksicitet, korrosivitet og antændelighed.

Toksicitet

Nogle fluorholdige gasser er giftige, såsom brintfluorid (HF), hvis damp er meget irriterende for huden og luftvejene og skadelige for menneskers sundhed.

Korrosivitet

Hydrogenfluorid og nogle fluorider er meget ætsende og kan forårsage alvorlig skade på huden, øjnene og luftvejene.

Lammbarhed

Nogle fluorider er brandfarlige og reagerer med ilt eller vand i luften for at frigive intens varme og giftige gasser, hvilket kan forårsage brand eller eksplosion.

Højtryksfare

Nogle fluorerede gasser er eksplosive under højt tryk og kræver særlig omhu, når de bruges og opbevares.

Indflydelse på miljøet

Fluorholdige gasser har høje atmosfæriske levetid og GWP-værdier, som har en destruktiv effekt på det atmosfæriske ozonlag og kan forårsage global opvarmning og miljøforurening.

Anvendelsen af ​​gasser i nye felter såsom elektronik fortsætter med at uddybe, hvilket bringer en stor mængde ny efterspørgsel efter industrielle gasser. Baseret på den store mængde nye produktionskapacitet af større elektroniske komponenter såsom halvledere og displaypaneler i det kinesiske fastland i de næste par år såvel som den stærke efterspørgsel efter importsubstitution af elektroniske kemiske materialer, vil den indenlandske elektroniske gasindustri indlede en høj vækstrate.