I 2018 nåede det globale elektroniske gasmarked for integrerede kredsløb US$4,512 milliarder, en år-til-år stigning på 16%.Den høje vækstrate i den elektroniske specialgasindustri for halvledere og den enorme markedsstørrelse har fremskyndet den indenlandske substitutionsplan for elektronisk specialgas!
Hvad er elektrongas?
Elektronisk gas refererer til det grundlæggende kildemateriale, der bruges i produktionen af halvledere, fladskærme, lysdioder, solceller og andre elektroniske produkter, og er meget udbredt til rengøring, ætsning, filmdannelse, doping og andre processer.De vigtigste anvendelsesområder for elektronisk gas omfatter elektronikindustrien, solceller, mobilkommunikation, bilnavigation og billyd- og videosystemer, rumfart, militærindustri og mange andre områder.
Elektronisk specialgas kan opdeles i syv kategorier efter dens egen kemiske sammensætning: silicium, arsen, fosfor, bor, metalhydrid, halogenid og metalalkoxid.Ifølge forskellige anvendelsesmetoder i integrerede kredsløb kan den opdeles i dopinggas, epitaksigas, ionimplantationsgas, lysemitterende diodegas, ætsegas, kemisk dampaflejringsgas og balancegas.Der er mere end 110 enheder specialgasser, der anvendes i halvlederindustrien, hvoraf mere end 30 er almindeligt anvendte.
Generelt opdeler halvlederproduktionsindustrien gasser i to typer: almindelige gasser og specialgasser.Blandt dem refererer den almindeligt anvendte gas til en centraliseret forsyning og bruger meget gas, såsom N2, H2, O2, Ar, He osv. Specialgas refererer til nogle kemiske gasser, der anvendes i processen med halvlederproduktion, som f.eks. forlængelse, ioninjektion, blanding, vask og maskedannelse, hvilket er det, vi nu kalder elektronisk specialgas, såsom højrenhed SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 osv.
I hele halvlederindustriens produktionsproces, fra chipvækst til den endelige enhedsemballage, er næsten hvert led uadskilleligt fra elektronisk specialgas og de mange forskellige anvendte gasser og høje kvalitetskrav, så elektronisk gas har halvledermaterialer."Mad".
I de senere år er Kinas store elektroniske komponenter såsom halvledere og displaypaneler steget i ny produktionskapacitet, og der er en stærk efterspørgsel efter importsubstitution af elektroniske kemiske materialer.Elektroniske gassers position i halvlederindustrien er blevet stadig mere fremtrædende.Den indenlandske elektroniske gasindustri vil indvarsle hurtig vækst.
Elektronisk specialgas har meget høje krav til renhed, for hvis renheden ikke lever op til kravene, vil urenhedsgrupperne som vanddamp og ilt i den elektroniske specialgas let danne oxidfilm på overfladen af halvlederen, hvilket påvirker levetid for elektroniske enheder, og den elektroniske specialgas indeholder Partiklerne af urenheder kan forårsage halvlederkortslutninger og kredsløbsskader.Det kan siges, at forbedringen af renheden spiller en afgørende rolle i udbyttet og ydeevnen af elektronisk udstyrsproduktion.
Med den kontinuerlige udvikling af halvlederindustrien fortsætter chipfremstillingsprocessen med at forbedre sig, og nu har den nået 5nm, hvilket er ved at nærme sig grænsen for Moores lov, hvilket svarer til en tyvendedel af diameteren af et menneskehår ( ca. 0,1 mm).Derfor stiller dette også højere krav til renheden af den elektroniske specialgas produceret af halvledere.
Indlægstid: 15. december 2021
