I 2018 nåede det globale marked for elektronisk gas til integrerede kredsløb 4,512 milliarder amerikanske dollars, en stigning på 16 % i forhold til året før. Den høje vækstrate i den elektroniske specialgasindustri for halvledere og det enorme markedsstørrelse har accelereret den indenlandske substitutionsplan for elektronisk specialgas!
Hvad er elektrongas?
Elektronisk gas refererer til det grundlæggende udgangsmateriale, der anvendes i produktionen af halvledere, fladskærme, lysdioder, solceller og andre elektroniske produkter, og det anvendes i vid udstrækning til rengøring, ætsning, filmdannelse, doping og andre processer. De vigtigste anvendelsesområder for elektronisk gas omfatter elektronikindustrien, solceller, mobilkommunikation, bilnavigation og bilaudio- og videosystemer, luftfart, militærindustrien og mange andre områder.
Elektronisk specialgas kan opdeles i syv kategorier i henhold til dens kemiske sammensætning: silicium, arsen, fosfor, bor, metalhydrid, halogenid og metalalkoxid. I henhold til forskellige anvendelsesmetoder i integrerede kredsløb kan den opdeles i dopinggas, epitaksigas, ionimplantationsgas, lysdiodegas, ætsegas, kemisk dampaflejringsgas og balancegas. Der anvendes mere end 110 specialgasser i halvlederindustrien, hvoraf mere end 30 er almindeligt anvendte.
Generelt opdeler halvlederproduktionsindustrien gasser i to typer: almindelige gasser og specialgasser. Blandt dem refererer den almindeligt anvendte gas til en centraliseret forsyning og bruger en stor mængde gas, såsom N2, H2, O2, Ar, He osv. Specialgas refererer til nogle kemiske gasser, der anvendes i halvlederproduktionsprocessen, såsom forlængelse, ioninjektion, blanding, vask og maskedannelse, hvilket er det, vi nu kalder elektronisk specialgas, såsom højrent SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 osv.
I hele produktionsprocessen i halvlederindustriens produktion, fra chips til den endelige enhedspakning, er næsten alle led uadskillelige fra elektronisk specialgas, og den varierede gas, der anvendes, og de høje kvalitetskrav, så elektronisk gas har halvledermaterialer. "Fødevarer".
I de senere år er Kinas store elektroniske komponenter, såsom halvledere og displaypaneler, blevet mere og mere produktionskapacitetsbevidste, og der er en stærk efterspørgsel efter importsubstitution af elektroniske kemiske materialer. Elektroniske gasser spiller en stadig større rolle i halvlederindustrien. Den indenlandske elektronikgasindustri vil opleve hurtig vækst.
Elektronisk specialgas har meget høje krav til renhed, fordi hvis renheden ikke lever op til kravene, vil urenhedsgrupper som vanddamp og ilt i den elektroniske specialgas let danne en oxidfilm på overfladen af halvlederen, hvilket påvirker levetiden for elektroniske enheder, og den elektroniske specialgas indeholder urenheder, der kan forårsage kortslutninger og kredsløbsskader på halvledere. Det kan siges, at forbedring af renheden spiller en afgørende rolle i udbyttet og ydeevnen af produktionen af elektroniske enheder.
Med den fortsatte udvikling af halvlederindustrien fortsætter chipproduktionsprocessen med at forbedres, og den har nu nået 5 nm, hvilket er ved at nærme sig grænsen for Moores lov, som svarer til en tyvendedel af diameteren af et menneskehår (ca. 0,1 mm). Derfor stiller dette også højere krav til renheden af den elektroniske specialgas, der produceres af halvledere.
Opslagstidspunkt: 15. dec. 2021
