I 2018 nåede det globale elektroniske gasmarked for integrerede kredsløb USD 4,512 milliarder, en stigning på 16%år til år. Den høje vækstrate for den elektroniske specielle gasindustri for halvledere og den enorme markedsstørrelse har fremskyndet den indenlandske substitutionsplan for elektronisk speciel gas!
Hvad er elektrongas?
Elektronisk gas henviser til det grundlæggende kildemateriale, der bruges til produktion af halvledere, fladpaneldisplay, lysemitterende dioder, solceller og andre elektroniske produkter og er vidt brugt til rengøring, ætsning, filmdannelse, doping og andre processer. De vigtigste anvendelsesområder inden for elektronisk gas inkluderer elektronikindustrien, solceller, mobil kommunikation, bilnavigation og billyd og videosystemer, rumfart, militær industri og mange andre felter.
Elektronisk speciel gas kan opdeles i syv kategorier i henhold til sin egen kemiske sammensætning: silicium, arsen, fosfor, bor, metalhydrid, halogenid og metalalkoxid. I henhold til forskellige applikationsmetoder i integrerede kredsløb kan det opdeles i dopinggas, epitaxy-gas, ionimplantationsgas, lysemitterende diodegas, ætsegas, kemisk dampaflejringsgas og balancegas. Der er mere end 110 enheds specielle gasser, der bruges i halvlederindustrien, hvoraf mere end 30 ofte bruges.
Generelt opdeler halvlederproduktionsindustrien gasser i to typer: almindelige gasser og specielle gasser. Blandt dem refererer den almindeligt anvendte gas til en centraliseret forsyning og bruger en masse gas, såsom N2, H2, O2, AR, HE osv. Special gas henviser til nogle kemiske gasser, der bruges i processen med halvlederproduktion, såsom forlængelse, ioninjektion, blanding, pH3, vask og maskeformation, hvilket er hvad vi nu kalder elektronisk speciel gas, såsom høj-purity sih4, ph3, ash3, b2h6 NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 osv.
I hele produktionsprocessen for halvlederindustrien, fra chipvækst til den endelige enhedsemballage, er næsten ethvert led uadskillelig fra elektronisk speciel gas og de forskellige gas, der anvendes og høj kvalitet, så elektronisk gas har halvledermaterialer. "Mad".
I de senere år er Kinas største elektroniske komponenter såsom halvledere og displaypaneler steget i ny produktionskapacitet, og der er en stærk efterspørgsel efter importsubstitution af elektroniske kemiske materialer. Stillingen af elektroniske gasser i halvlederindustrien er blevet mere og mere fremtrædende. Den indenlandske elektroniske gasindustri vil indlede hurtig vækst.
Elektronisk speciel gas har meget høje krav til renhed, for hvis renheden ikke er op til kravene, vil urenhedsgrupperne såsom vanddamp og ilt i den elektroniske specielle gas let danne oxidfilm på overfladen af halvlederen, hvilket påvirker servicelivet for elektroniske anordninger, og den elektroniske specielle gas indeholder partiklerne af nyrheden kan forårsage, at Semiconductor Short Circuits og kredsløbsskader. Det kan siges, at forbedringen af renhed spiller en vigtig rolle i udbyttet og ydeevnen for elektronisk enhedsproduktion.
Med den kontinuerlige udvikling af halvlederindustrien forbedres chipfremstillingsprocessen fortsat, og nu er den nået 5nm, hvilket er ved at nærme sig grænsen for Moores lov, hvilket svarer til en-tyvende af diameteren af et menneskehår (ca. 0,1 mm). Derfor fremsætter dette også højere krav til renheden af den elektroniske specielle gas produceret af halvledere.
Posttid: dec-15-2021
