Lasergas bruges hovedsageligt til laserudglødning og litografigas i elektronikindustrien.Ved at drage fordel af innovationen af mobiltelefonskærme og udvidelsen af anvendelsesområder vil omfanget af lavtemperatur polysiliciummarkedet blive udvidet yderligere, og laserudglødningsprocessen har forbedret ydeevnen af TFT'er betydeligt.Blandt de neon-, fluor- og argongasser, der anvendes i ArF excimer-laseren til fremstilling af halvledere, udgør neon mere end 96 % af lasergasblandingen.Med forfining af halvlederteknologi er brugen af excimer-lasere steget, og introduktionen af dobbelteksponeringsteknologi har ført til en kraftig stigning i efterspørgslen efter neongas forbrugt af ArF excimer-lasere.Ved at drage fordel af fremme af lokalisering af elektroniske specialgasser vil indenlandske producenter have et bedre markedsvækstrum i fremtiden.
Litografimaskine er kerneudstyret i halvlederfremstilling.Litografi definerer størrelsen af transistorer.Den koordinerede udvikling af litografiindustriens kæde er nøglen til litografimaskinens gennembrud.De matchende halvledermaterialer såsom fotoresist, fotolitografigas, fotomaske og coating- og fremkalderudstyr har et højt teknologisk indhold.Litografigas er den gas, som litografimaskinen genererer dyb ultraviolet laser.Forskellige litografigasser kan producere lyskilder med forskellige bølgelængder, og deres bølgelængde påvirker direkte opløsningen af litografimaskinen, som er en af kernerne i litografimaskinen.I 2020 vil det samlede globale salg af litografimaskiner være 413 enheder, hvoraf ASML-salget 258 enheder tegnede sig for 62%, Canon-salget 122 enheder tegnede sig for 30%, og Nikon-salget 33 enheder tegnede sig for 8%.
Indlægstid: 15. oktober 2021
