Lasergas bruges hovedsageligt til laserglødning og litografigas i elektronikindustrien. Takket være innovationen inden for mobiltelefonskærme og udvidelsen af anvendelsesområder vil markedet for lavtemperatur-polysilicium blive yderligere udvidet, og laserglødningsprocessen har forbedret TFT'ernes ydeevne betydeligt. Blandt de neon-, fluor- og argongasser, der anvendes i ArF-excimerlaseren til fremstilling af halvledere, tegner neon sig for mere end 96 % af lasergasblandingen. Med forfinelsen af halvlederteknologi er brugen af excimerlasere steget, og introduktionen af dobbelteksponeringsteknologi har ført til en kraftig stigning i efterspørgslen efter neongas, der forbruges af ArF-excimerlasere. Ved at drage fordel af fremme af lokaliseringen af elektroniske specialgasser vil indenlandske producenter have et bedre markedsvækstrum i fremtiden.
Litografimaskinen er kerneudstyret inden for halvlederproduktion. Litografi definerer størrelsen af transistorer. Den koordinerede udvikling af litografiindustrikæden er nøglen til litografimaskinens gennembrud. Matchende halvledermaterialer såsom fotoresist, fotolitografigas, fotomaske samt belægnings- og fremkaldelsesudstyr har et højt teknologisk indhold. Litografigas er den gas, som litografimaskinen genererer med dyb ultraviolet laser. Forskellige litografigasser kan producere lyskilder med forskellige bølgelængder, og deres bølgelængde påvirker direkte litografimaskinens opløsning, som er en af kernerne i litografimaskinen. I 2020 vil det samlede globale salg af litografimaskiner være 413 enheder, hvoraf ASML-salget 258 enheder tegnede sig for 62%, Canon-salget 122 enheder tegnede sig for 30% og Nikon-salget 33 enheder tegnede sig for 8%.
Opslagstidspunkt: 15. oktober 2021
