Silaner en forbindelse af silicium og hydrogen og er en generel betegnelse for en række forbindelser. Silan omfatter hovedsageligt monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) og nogle siliciumhydrogenforbindelser på højere niveau med den generelle formel SinH2n+2. I den faktiske produktion omtaler vi dog generelt monosilan (kemisk formel SiH4) som "silan".

Elektronisk kvalitetsilangasfremstilles hovedsageligt ved forskellige reaktionsdestillationer og rensninger af siliciumpulver, hydrogen, siliciumtetrachlorid, katalysatorer osv. Silan med en renhed på 3N til 4N kaldes silan af industriel kvalitet, og silan med en renhed på mere end 6N kaldes silangas af elektronikkvalitet.

Som gaskilde til transport af siliciumkomponenter,silangaser blevet en vigtig specialgas, der ikke kan erstattes af mange andre siliciumkilder på grund af dens høje renhed og evne til at opnå fin kontrol. Monosilan genererer krystallinsk silicium gennem pyrolysereaktion, som i øjeblikket er en af ​​metoderne til storskalaproduktion af granulært monokrystallinsk silicium og polykrystallinsk silicium i verden.

Silanegenskaber

Silan (SiH4)er en farveløs gas, der reagerer med luft og forårsager kvælning. Dens synonym er siliciumhydrid. Den kemiske formel for silan er SiH4, og dens indhold er så højt som 99,99%. Ved stuetemperatur og -tryk er silan en ildelugtende giftig gas. Silans smeltepunkt er -185 ℃ og kogepunktet er -112 ℃. Ved stuetemperatur er silan stabil, men når den opvarmes til 400 ℃, vil den nedbrydes fuldstændigt til gasformig silicium og hydrogen. Silan er brandfarlig og eksplosiv og vil brænde eksplosivt i luft eller halogengas.

Anvendelsesfelter

Silan har en bred vifte af anvendelser. Udover at være den mest effektive måde at fastgøre siliciummolekyler til overfladen af ​​cellen under produktionen af ​​solceller, bruges det også i vid udstrækning i produktionsanlæg såsom halvledere, fladskærme og belagt glas.

Silaner siliciumkilden til kemiske dampaflejringsprocesser såsom enkeltkrystalsilicium, polykrystallinske silicium-epitaksiale wafere, siliciumdioxid, siliciumnitrid og fosfosilikatglas i halvlederindustrien og anvendes i vid udstrækning i produktion og udvikling af solceller, siliciumkopitromler, fotoelektriske sensorer, optiske fibre og specialglas.

I de senere år er højteknologiske anvendelser af silaner stadig ved at dukke op, herunder fremstilling af avanceret keramik, kompositmaterialer, funktionelle materialer, biomaterialer, højenergimaterialer osv., hvilket er blevet grundlaget for mange nye teknologier, nye materialer og nye enheder.