Wolframhexafluorid (WF6) aflejres på overfladen af waferen gennem en CVD-proces, udfylder metalforbindelsesgravene og danner metalforbindelsen mellem lagene.
Lad os først tale om plasma. Plasma er en form for stof hovedsageligt sammensat af frie elektroner og ladede ioner. Det eksisterer bredt i universet og betragtes ofte som den fjerde tilstand af stof. Det kaldes plasmatilstanden, også kaldet "plasma". Plasma har høj elektrisk ledningsevne og har en stærk koblingseffekt med elektromagnetisk felt. Det er en delvist ioniseret gas, der består af elektroner, ioner, frie radikaler, neutrale partikler og fotoner. Plasmaet i sig selv er en elektrisk neutral blanding indeholdende fysisk og kemisk aktive partikler.
Den ligefremme forklaring er, at under påvirkning af høj energi vil molekylet overvinde van der Waals-kraften, den kemiske bindingskraft og Coulomb-kraften og præsentere en form for neutral elektricitet som helhed. Samtidig overvinder den høje energi, der tilføres af ydersiden, de ovennævnte tre kræfter. Funktion, elektroner og ioner præsenterer en fri tilstand, som kan bruges kunstigt under modulering af et magnetfelt, såsom halvlederætsningsproces, CVD-proces, PVD og IMP-proces.
Hvad er høj energi? I teorien kan både højtemperatur og højfrekvent RF bruges. Generelt er høj temperatur næsten umulig at opnå. Dette temperaturkrav er for højt og kan være tæt på solens temperatur. Det er som udgangspunkt umuligt at opnå i processen. Derfor bruger industrien normalt højfrekvent RF for at opnå det. Plasma RF kan nå så højt som 13MHz+.
Wolframhexafluorid plasmaiseres under påvirkning af et elektrisk felt og derefter dampaflejret af et magnetfelt. W-atomer ligner vintergåsefjer og falder til jorden under påvirkning af tyngdekraften. Langsomt aflejres W-atomer i de gennemgående huller og fyldes til sidst hele gennem huller for at danne metalforbindelser. Udover at afsætte W-atomer i de gennemgående huller, vil de så også blive aflejret på overfladen af waferen? Ja, bestemt. Generelt kan du bruge W-CMP-processen, som er det, vi kalder den mekaniske slibeproces til at fjerne. Det svarer til at bruge en kost til at feje gulvet efter kraftig sne. Sneen på jorden bliver fejet væk, men sneen i hullet på jorden bliver liggende. Ned, nogenlunde det samme.
Indlægstid: 24. december 2021
