Wolframhexafluorid (WF6) aflejres på overfladen af waferen gennem en CVD-proces, hvorved metalforbindelsesrenderne udfyldes og metalforbindelsen mellem lagene dannes.
Lad os først tale om plasma. Plasma er en form for stof, der hovedsageligt består af frie elektroner og ladede ioner. Det findes vidt udbredt i universet og betragtes ofte som stofformen. Det kaldes plasmatilstanden, også kaldet "plasma". Plasma har høj elektrisk ledningsevne og har en stærk koblingseffekt med elektromagnetiske felter. Det er en delvist ioniseret gas, der består af elektroner, ioner, frie radikaler, neutrale partikler og fotoner. Plasmaet i sig selv er en elektrisk neutral blanding, der indeholder fysisk og kemisk aktive partikler.
Den enkle forklaring er, at molekylet under påvirkning af høj energi vil overvinde van der Waals-kraften, den kemiske bindingskraft og Coulomb-kraften og præsentere en form for neutral elektricitet som helhed. Samtidig overvinder den høje energi, der tilføres udefra, de ovennævnte tre kræfter. Funktionelt set præsenterer elektroner og ioner en fri tilstand, som kunstigt kan anvendes under modulering af et magnetfelt, såsom halvlederætsningsprocesser, CVD-processer, PVD- og IMP-processer.
Hvad er høj energi? I teorien kan både højtemperatur- og højfrekvent RF anvendes. Generelt er høj temperatur næsten umulig at opnå. Dette temperaturkrav er for højt og kan være tæt på solens temperatur. Det er stort set umuligt at opnå i processen. Derfor bruger industrien normalt højfrekvent RF til at opnå det. Plasma-RF kan nå så højt som 13 MHz+.
Wolframhexafluorid plasmaiseres under påvirkning af et elektrisk felt og dampaflejres derefter af et magnetfelt. W-atomer ligner vintergåsefjer og falder til jorden under tyngdekraftens påvirkning. Langsomt aflejres W-atomer i de gennemgående huller og fyldes til sidst op for at danne metalforbindelser. Ud over at aflejre W-atomer i de gennemgående huller, vil de så også aflejres på overfladen af waferen? Ja, helt sikkert. Generelt kan man bruge W-CMP-processen, som vi kalder den mekaniske slibeproces, til at fjerne sneen. Det svarer til at bruge en kost til at feje gulvet efter kraftig sne. Sneen på jorden fejes væk, men sneen i hullet på jorden vil forblive. Nedad, omtrent det samme.
Opslagstidspunkt: 24. dec. 2021
