Wolfram hexafluorid (WF6) afsættes på overfladen af skiven gennem en CVD -proces, fylder metalforbindelsesgravene og danner metalforbindelsen mellem lagene.
Lad os først tale om plasma. Plasma er en form for stof, der hovedsageligt er sammensat af frie elektroner og ladede ioner. Det eksisterer vidt i universet og betragtes ofte som den fjerde stofstilstand. Det kaldes plasmatilstanden, også kaldet ”plasma”. Plasma har høj elektrisk ledningsevne og har en stærk koblingseffekt med elektromagnetisk felt. Det er en delvist ioniseret gas sammensat af elektroner, ioner, frie radikaler, neutrale partikler og fotoner. Selve plasmaet er en elektrisk neutral blanding indeholdende fysisk og kemisk aktive partikler.
Den ligefremme forklaring er, at molekylet under virkning af høj energi vil overvinde van der Waals Force, Chemical Bond Force og Coulomb Force og præsentere en form for neutral elektricitet som helhed. På samme tid overvinder den høje energi, der blev overført af ydersiden, ovenstående tre kræfter. Funktion, elektroner og ioner præsenterer en fri tilstand, som kan bruges kunstigt under modulering af et magnetfelt, såsom halvleder ætsningsproces, CVD -proces, PVD og IMP -proces.
Hvad er høj energi? I teorien kan både høj temperatur og højfrekvente RF anvendes. Generelt er høj temperatur næsten umulig at opnå. Dette temperaturkrav er for højt og kan være tæt på solens temperatur. Det er dybest set umuligt at opnå i processen. Derfor bruger industrien normalt højfrekvent RF for at opnå den. Plasma RF kan nå så højt som 13MHz+.
Wolfram hexafluorid plasmaiseret under virkningen af et elektrisk felt og derefter dampdepositeret af et magnetfelt. W -atomer ligner vinter gåsefjer og falder til jorden under tyngdekraften. Langsomt afsættes W -atomer i gennemhullerne og fyldes til sidst fuldt gennem huller for at danne metalforbindelser. Ud over at deponere W -atomer i gennemhullerne, vil de også blive deponeret på overfladen af skiven? Ja, bestemt. Generelt kan du bruge W-CMP-processen, hvilket er det, vi kalder den mekaniske slibningsproces til at fjerne. Det ligner at bruge en kost til at feje gulvet efter kraftig sne. Sneen på jorden fejes væk, men sneen i hullet på jorden forbliver. Ned, omtrent det samme.
Posttid: DEC-24-2021
