Hydrogenchlorider en farveløs gas med en skarp lugt. Dens vandige opløsning kaldes saltsyre, også kendt som saltsyre. Hydrogenchlorid er meget opløseligt i vand. Ved 0 ° C kan 1 volumen vand opløses ca. 500 volumener brintchlorid.

Det har følgende egenskaber og egenskaber:

1. høj renhed

Renheden af ​​elektronisk kvalitetHydrogenchlorider meget høj, normalt på PPM eller lavere niveau, for at sikre, at der ikke indføres nogen urenheder i halvlederproduktionsprocessen.

2. inertitet

Det er en kemisk inert gas, der ikke reagerer med mange andre stoffer, hvilket er meget vigtigt for at forhindre forurening af halvledermaterialer og udstyr.

3. høj stabilitet

Elektronisk kvalitetHydrogenchloridhar generelt stabil kemi for at sikre pålidelig halvlederbehandling.

I halvlederforarbejdning inkluderer de vigtigste anvendelser af brintchlorid med elektronisk kvalitet:

1. overflade rengøring og forberedelse

Som en effektiv overfladerrenser, elektronisk kvalitetHydrogenchloridbruges til at fjerne oxider og urenheder fra substratoverfladen for at sikre kvaliteten og renheden af ​​det epitaksiale lag eller film.

2.Pitaxial væksthjælp

Brugt som overfladebehandlingsmiddel i den epitaksiale proces hjælper det med at forbedre kvaliteten af ​​det epitaksiale lag, forbedre gittermatchning og reducere dannelsen af ​​gitterdefekter.

3. underlagsforbehandling

Før forberedelsen af ​​halvlederenheder, elektronisk kvalitetHydrogenchloridKan bruges til behandling af substratoverfladen til dannelse af en stabil base for at forbedre vedhæftningen mellem det epitaksiale lag og underlaget.

4. deponering hjælpeagent

I processen med kemisk dampaflejring (CVD) eller fysisk dampaflejring (PVD) kan elektronisk hydrogenchlorid anvendes som et gasfaseoverførselsmedium til at deltage i deponeringsreaktionen af ​​halvledermaterialer.

5. Gasfaseoverførselsagent

Som et gasfaseoverførselsmiddel indføres andre gasformige forløbere i reaktionskammeret for at hjælpe med at justere deponeringshastigheden og ensartetheden af ​​materialet.

Disse egenskaber skaber elektronisk kvalitetHydrogenchloridEt vigtigt behandlingsagent inden for halvlederteknologi, der har en vigtig indflydelse på ydelsen og pålideligheden af ​​den endelige enhed.

Ud over dets anvendelse i halvlederforarbejdning kan elektronisk hydrogenchlorid finde en række anvendelser i andre områder, herunder: fremstilling af materialer med høj renhed, brændselsceller, halvledermaterialvækst, dampfase -litografi, materialanalyse, kemisk forskning.

Generelt elektronisk kvalitetHydrogenchlorider en alsidig gas med høj renhed, der har en bred vifte af applikationer uden for fremstilling af halvleder.