Bor Trichloride (BCL3)er en uorganisk forbindelse, der ofte anvendes i tør ætsning og kemisk dampaflejringsprocesser (CVD) -processer i halvlederproduktionen. Det er en farveløs gas med en stærk skarp lugt ved stuetemperatur og er følsom over for fugtig luft, fordi den hydrolyserer til at producere saltsyre og borsyre.

Anvendelser af bortrichlorid

I halvlederindustrien,Bor Trichloridebruges hovedsageligt til tør ætsning af aluminium og som et dopingmiddel til dannelse af P-type regioner på siliciumskiver. Det kan også bruges til at ætsede materialer såsom GAAS, SI, ALN og som en borkilde i visse specifikke applikationer. Derudover bruges bortrichlorid i vid udstrækning i metalforarbejdning, glasindustri, kemisk analyse og laboratorieforskning.

Sikkerhed ved bortrichlorid

Bor Trichlorideer ætsende og giftig og kan forårsage alvorlig skade på øjnene og huden. Det hydrolyserer i fugtig luft for at frigive giftigt hydrogenchloridgas. Derfor skal der træffes passende sikkerhedsforanstaltninger, når man håndtererBor Trichloride, herunder iført beskyttelsesbeklædning, beskyttelsesudstyr og luftvejsbeskyttelsesudstyr og operation i et godt ventileret miljø.