Bortrichlorid (BCl3)er en uorganisk forbindelse, der almindeligvis anvendes i tørætsning og kemisk dampaflejring (CVD) i halvlederfremstilling. Det er en farveløs gas med en stærk, skarp lugt ved stuetemperatur og er følsom over for fugtig luft, fordi den hydrolyserer og producerer saltsyre og borsyre.

Anvendelser af bortrichlorid

I halvlederindustrien,Bortrichloridbruges hovedsageligt til tørætsning af aluminium og som dopant til dannelse af P-type regioner på siliciumskiver. Det kan også bruges til at ætse materialer som GaAs, Si, AlN og som borkilde i visse specifikke anvendelser. Derudover anvendes bortrichlorid i vid udstrækning i metalforarbejdning, glasindustrien, kemisk analyse og laboratorieforskning.

Sikkerhed af bortrichlorid

Bortrichlorider ætsende og giftigt og kan forårsage alvorlig skade på øjne og hud. Det hydrolyserer i fugtig luft og frigiver giftig hydrogenchloridgas. Derfor skal der træffes passende sikkerhedsforanstaltninger ved håndtering.Bortrichlorid, herunder at bære beskyttelsestøj, beskyttelsesbriller og åndedrætsværn, og at arbejde i et godt ventileret miljø.